QuadProII 自動電阻率測量系統 |
堅持超過50年工匠精神 專業 .高品質. 探針台設備製造商 |
自1968年以來,Lucas-SIGNATONE設計並製造了用於測量半導體片電阻率的四點探測設備, |
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四點探針測量系統已應用於各種材料研究應用,測量各種襯底上的薄膜。 | |
QuadProII是專為滿足矽片、薄膜、太陽能電池和各種應用的研究需求而設計的; | |
此外,QuadProII通常用於幫助確定薄膜沉積過程,沉積在晶圓或襯底上的薄膜和厚薄膜可以被精確地映射; | |
使用者可根據結果調整他們的過程工具配方,通過映射另一個示例或相同的示例,比較結果映射和表有助於調用進程。 | |
◢ QuadProII自動測試系統應用於 | |
■ 測量測試樣品的薄片電阻、電阻率或厚度。 | |
■ 採用ASTM標準F84 - F89;QuadProII將準確地映射測試樣品的表面。 | |
■ 四點探針測量系統已被公認為測量導電或半導電材料薄層的最佳方法 。 | |
◢ 特點 | |
■ 平均電阻率(Resitivity),電阻率標準差(Standard Deviation),平均片電阻(Sheet Resistance)、片電阻標準差 | |
■ 電阻溫度係數(TCR, Temperature Coefficient of Resistance) | |
■ 使用自動溫度控制器與溫控待測樣品載台(選用)及儀錶測量電阻溫度係數 | |
■ 測量結果可以用2D或3D方式圖形呈現 | |