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Pro-4四點探針電阻率測量系統 |
 堅持超過50年工匠精神 專業 .高品質. 探針台設備製造 |
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| 自1968年以來，Lucas-SIGNATONE設計並製造了用於測量半導體片電阻率的四點探測設備， |
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| 四點探針測量系統已應用於各種材料研究應用，測量各種襯底上的薄膜。 | |
| SIGNATONE Pro4四點探針電阻率測量系統為薄片和體電阻率測量提供了簡單的答案， | |
| 為了進行測量，用戶將四點探針頭降低到樣品上，然後搭配選擇軟體中的測試按鈕， | |
| 電腦自動控制儀器，並逐步通過一些電流設置，以找到準確讀數的理想電流，進行V/I測量並記錄， | |
| 該系統採用ASTM標準F84-99的雙配置測試方法，以補償探頭間距誤差和靠近導電層邊緣引起的誤差。 | |
| 在量測 100 毫米，125 毫米，150 毫米，200 毫米，300 毫米的待測樣品時,可設定自動測量9，25，49或 121 個測試點 | |
| 系統使用四點探針，雙架構測試方式,並整合了目前最佳的測量儀錶可達到在 1mΩ/ 至 2MΩ/ 間小於 1% 的誤差 | |
| ◢Pro4 軟體 | |
| ■Pro4軟體管理測試，顯示結果，並允許列印輸出或匯出資料。 | |
| ■使用者輸入樣本的大小和形狀、邊緣排除和要測試的點數； | |
| 並可以定義通過/失敗標準以及要顯示的參數（片電阻、電阻率或V/I） | |
| ■測試完成後將顯示目標探測點的圖形圖像，提示使用者移動到下一個位置； | |
| 所有點的平均值、標準差、最小值和最大值都會突出顯示。 | |
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